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RST5210F电化学工作站

发布者:本网 | 浏览次数:

RST5210F型电化学工作站是在RST5200F型的成熟基础上增加四探针电阻率测试方法而来。该测试方法是检验和分析导体和半导体材料质量的一种重要的工具,适用于生产企业、高等院校及各类科研部门。

  四探针电阻率测试方法与电化学工作站中的其他方法一样,软件界面友好、参数设置简单明了。启动测试后,仪器按设定的参数自动连续采集数据,在屏幕上实时显示电阻-时间曲线。测试结束后,根据电阻形态参数自动换算成电阻率及电导率,无需人工计算。配备的专用电化学工作站软件在电脑上运行,可随时显示、保存、打印数据和图形,以备存查。

  本方法的设置参数有:电阻形态及尺寸、探针形状及间距、激励电流及可测电阻范围、预热时间、样点间隔、样点数量、被测器件电动势等。

  测试工具可根据被测产品及测试项目的要求选购,配置不同的测试工具可满足不同材料的测试要求。

  本仪器的四探针电阻率测量方法适用于分立电阻、线状电阻、面状电阻、块状电阻、直流器件内阻。也就是说,可测量导体及半导体材料的轴向电阻率、径向电阻率、扩散层薄膜电阻率。本仪器具有自动电位扣除功能,因此可测量含源直流器件内阻。


电阻形态

例子

分立电阻

各种类型电阻器件

线状电阻

铜线、铜棒、铝线、铝棒、铁丝、导电性纤维

面状电阻

导电覆盖膜、ITO导电膜玻璃、金属化标签、半导体外延层扩散层、

触屏薄膜、合金类箔膜、电极涂料导电漆膜,蒸发铝膜,PCB铜箔膜

块状电阻

金属方块电阻、金属圆块电阻、半导体材料晶块、半导体材料晶圆、

导电橡胶、导电性塑料、导电性陶瓷、导电性糊状物

直流器件内阻

锂离子电池、铅酸蓄电池、干电池、钮扣电池


主要技术指标:

仪器架构:

恒电位仪、恒电流仪、交流阻抗频谱仪

接地模式:

可根据体系要求设置成实地模式或浮地模式

槽压:

±15V

电位扫描范围:

±12.8V

CV最小电位增量:

0.0125mV

电位控制精度:

<±0.5mV

电位控制噪声:

<0.01mV

电位上升时间:

<0.00025mS

电位测量零位:

自动校正

电位更新及阻抗采集速率:

10MHz

电位测量低通滤波器:

自动或手动设置

电位测量精度:

满量程的0.1%

扫描速度:

0.000001V/S20000V/S

参比电极输入阻抗//电容:

>1013Ω//<10pF

最大恒电流输出:

±500mA

输入偏置电流:

<0.1pA

电流测量分辨率:

电流量程的0.00076%,最小0.2fA

电流测量零位:

自动校正

电流测量量程:

1pA500mA(25)

前置放大倍数:

5×10×100

电流测量最高灵敏度:

1×10-12A/V

电流测量精度:

满量程的0.1%

电流测量低通滤波器:

自动或手动设置

方波伏安法频率:

1Hz~100kHz

交流伏安法频率:

0.1Hz~10kHz

交流阻抗谱频率:

0.00001Hz1MHz11个频段)

正弦波幅度:

0.01mV12V

CACC脉冲宽度:

0.1mS1200S

DPV脉冲宽度:

0.05mS64S

IR降补偿:

自动或手动设置(10Ω~1MΩ)

多阶跃循环次数:

1000

限压反馈恒流换向时间:

<0.1mS

恒流限压循环周期:

0.1S~100000S

脉冲电镀//最小脉宽:

八相脉冲可正可负//0.05mS

电池全容量充电工步:

激活、恒流、恒压、涓流

双通道高速ADC

18bit@1Msps

最大数据长度:

20000000

通氮搅拌及敲击控制输出:

二路开关量信号(+5V/10mA

扩展输出:

二路光电隔离数字量信号

储能电化学测量保护模式:

极性、电压、电流、时间、链路

电极智能柔性保护:

电压超载、电流超载

(2)四探针电阻测试方法参数及技术指标:

1.激励电流范围:

10nA100nA1uA10uA100µA1mA10mA100mA200mA500mA

2.电压范围:

0.5V1V2V5V10V

3.电阻范围:

0.1mΩ~1GΩ

4.方块电阻范围:

0.5mΩ/sq5GΩ/sq

5.电阻率范围:

10-6106Ωcm

6.预热时间:

0~64

7.电阻精度:

0.3%

8.被测器件电动势:

无源或者E5mVE0.5VE1.5VE4.5VE9.5V

9.测量数据显示:

电流、电压、电阻、方块电阻、电阻率、电导率

10.整机不确定性误差:

4%(标准样片结果)


主要测试方法:

线性扫描伏安法LSV

单电位阶跃计时电流法CA

线性扫描溶出伏安法

单电位阶跃计时电量法CC

线性扫描循环伏安法LCV

多电位阶跃计时电流法

阶梯伏安法SV

多电位阶跃计时电量法

阶梯溶出伏安法

单电流阶跃计时电位法CP

阶梯循环伏安法SCV

多电流阶跃计时电位法

方波伏安法SWV

恒电位电解I-T曲线

方波溶出伏安法

恒电位电解Q-T曲线

方波循环伏安法SWCV

恒电位溶出I-T曲线

差示脉冲伏安法DPV

恒电位溶出Q-T曲线

差示脉冲溶出伏安法

开路电位E-T曲线OCPT

常规脉冲伏安法NPV

电位溶出E-T曲线

差示常规脉冲伏安法DNPV

控制电流E-T曲线

差分脉冲电流检测

控制电位电解库仑法

双差分脉冲电流检测

镀锡量测定

三脉冲电流检测

塔菲尔图Tafel

积分脉冲电流检测

环形扫描

脉冲电镀法

点蚀电位

电镀电位监测

电偶腐蚀

流体力学调制伏安法

电化学噪声测量

交流伏安法ACV

氯离子浓度监测

交流溶出伏安法

宏电池电流监测

交流循环伏安法ACCV

半电池恒流阳极极化

二次谐波交流伏安法

半电池恒流阴极极化

傅里叶变换交流伏安法

半电池恒流循环极化

电流扫描计时电位法

电池恒流充电

交流阻抗谱EIS

电池恒流放电

交流阻抗-电位

(阻抗模-电位、辐角-电位、Mott-Schottky)

电池恒流循环充放电

交流阻抗-时间

电池全容量分段充电

溶液电阻测量

电池全容量分段放电

微分电容-电位

恒流限压快速循环充放电

微分电容-频率

零阻电流计

高阻电位计

四探针方块电阻测量

器件电阻电源内阻测量

刀型探头方块电阻测量

线状材料电阻率测量

 


*宏方法:用户可自编脚本进行多种电化学方法的组合运行




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